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國內(nèi)外超精密數(shù)控機床簡介--美國的超精密數(shù)控機床
日期：2009年09月27 來源：本站原創(chuàng) 關(guān)鍵字：機床
20世紀50年代后期，美國首先開始進行超精密加工機床方面的研究，當時因開發(fā)激光核聚變實驗裝置和紅外線實驗裝置需要大型金屬反射鏡，急需反射鏡的超精密加工技術(shù)和超精密加工機床。人們通過使用當時精度較高的精密機床，采用單點金剛石車刀對鋁合金和無氧化銅進行鏡面切削，以此為起點，超精密加工作為一種嶄新的機械加工工藝得到了迅速發(fā)展。1962年，UnionCarbide公司首先開發(fā)出的利用多孔質(zhì)石墨空氣軸承的超精密半球面車床，成功地實現(xiàn)了超精密鏡面車削，尺寸精度達到：~0．6btm，表面粗糙度為Rd0．025gm，從而邁出了亞微米加工的第一步。但是，金剛石超精密車削比較適合一些較軟的金屬材料，而在航空航天、天文、軍事等應用領(lǐng)域的衛(wèi)星攝像頭方面，最為常用的卻是如玻璃、陶瓷等脆性材料的非金屬器件。用金剛石刀具對這些材料進行切削加工，則會使己加工表面產(chǎn)生裂紋。而超精密磨削則更有利于脆性材料的加工。
UnionCarbide公司的另一代表性產(chǎn)品是其在1972年研制成功的R-e方式的非球面創(chuàng)成加工機床。這是一臺具有位置反饋的雙坐標數(shù)控車床，可實時改變刀座導軌的轉(zhuǎn)角口和半徑只，實現(xiàn)非球面的鏡面加工。加工直徑達380mm，工件的形狀精度為正負0．63um，表面粗糙度為Ra0.023um。
摩爾公司(MoorlSpecialT001)于1968年研制出帶空氣主軸的Moori型超精密鏡面車床，惟為了實現(xiàn)脆性材料的超精密加工，該公司又于1980年在世界上首次開發(fā)出三坐標控制的M-18AG型超精密非球面金剛石刀具車削、金剛石砂輪磨削機床。該機床采用空氣主軸，回 轉(zhuǎn)精度徑向為0．075Bm：采用Allen-Braley7320數(shù)控系統(tǒng)；X、Z軸行程分別為410mm和230mm，其導軌的平直度在全長行程范圍內(nèi)均在0．5gm以內(nèi)，B軸的定位精度在360’范圍內(nèi)是0．38um;采用金剛石砂輪可加工最大直徑為356mm的各種非球面的金屬反射鏡。
RankPneumo公司于1980年向市場推出了利用激光干涉儀來完成位置閉環(huán)控制的雙軸聯(lián)動MSG型超精密數(shù)控車床。該車床可加工直徑350mm的非球面金屬反射鏡，加工表面相糙度為R~O．05Bm。1988年，該公司又開發(fā)成功ASG2500、ASG2500T、Nanoform300型機床：這些機床不僅能夠進行超精密切削加工，而且可加工直徑達300mm的非球面反射鏡。該公司以上述機床為基礎，又于1990年開發(fā)出Nanoform600，能加工直徑為600mm的非球面反射鏡，工件形狀精度優(yōu)于O．1四，表面粗糙度優(yōu)于Ra0．01um。1996年，該公司又推出了Nanoform250型超精密復合加工機床，不僅可進行金剛石切削、磨削和拋光，而且能夠直接磨削出符合光學表面質(zhì)量和型面精度的硬脆材料光學零件。
目前，美國從事超精密加工制造比較有名的公司、企業(yè)至少有30家。其中最具代表性并取得重大成果的有前面提到的Union Carbide公司LLNL(Lawrence Livermore National Laboratory)實驗室。從20世紀60年代開始，LLNL實驗室先后開發(fā)出DTM-1、DTM-2型超精密機床，并于1983年9月成功地開發(fā)出代表當代超精密機床最高水平的DTM-3臥式大 型光學金剛石超精密車床。該機床可加工直徑2100rain、重4497k2的工件；其刀架的傳動裝置采用摩擦驅(qū)動，利用激光干涉儀進行位置測量；采用液體靜壓軸承和液體靜壓導軌，位置精度可達0．013~m：加工黃銅零件，表面粗糙度可達R~0．0076Bra。1984年9月，LLNL實驗室又與美國空軍WRIGHT航空研究所等單位合作，研制成功LODTM(LargeOpticsDiaramond Turning Machine)型大型立式超精密數(shù)控車床。該車床可加工直徑1625mm的工件；采用專門研制的7路雙頻激光干涉儀進行各種位置信息的測量，再通過數(shù)據(jù)處理，提供精確的反饋信息給伺服系統(tǒng)，驅(qū)動刀架保證刀具相對工件的位置，測量分辨率為0．635nm。為了保證位置伺服控制精度，采用精密數(shù)字伺服控制方式，控制部分為內(nèi)裝式CNC裝置。為了實現(xiàn)刀具的微量進給，該機床采用壓電式微位移機構(gòu)，可實現(xiàn)納米級微位移，加工精度可以達0．025~m．LODTM是公認的當今世界最高水平的超精密車床之一。
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